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氮氣流量對（Ti,Al,Si,Cr)N超硬薄膜的結構與性能的影響

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采用等離子增強磁控濺射技術（PEMC）在YG8硬質合金表面制備了（Ti,Al,Si,Cr）N超硬膜，研究了N2流量對膜層結構、成分、形態特征與性能的影響。

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